Röntgenmikroskop deckt die versteckten Geheimnisse in der Nanowelt auf

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Ein neuartiges Röntgenmikroskop mit Superauflösung, das von einem Forscherteam des Paul Scherrer Instituts (PSI) und der ETH Lausanne (EPFL) in der Schweiz entwickelt wurde, kombiniert die hohe Durchdringungsleistung von Röntgenstrahlen mit einer hohen bildlichen Auflösung und ermöglicht es somit erstmals, Licht auf die detaillierten inneren Strukturen von Halbleiterbau-elemen­ten oder Zellen zu werfen . Franz Pfeiffer, EPFL-Professor und Leiter des Forscherteams, erklärt, dass Forschende seit vielen Jahren an Konzepten für ein Mikroskop mit Superauflösung mittels Elektronen und Röntgenstrahlen arbeiten. Nur der Bau eines speziellen Instruments im Wert von mehreren Millionen Schweizer Franken an der Synchrotron Lichtquelle Schweiz des PSI ermöglichte es aber, die Stabilität zu erreichen, die für die Implementierung der neuen Methode in der Praxis erforderlich ist. Das neue Instrument setzt zudem den Megapixel-Detektor PILATUS ein, dessen grosser Bruder ebenfalls am PSI entwickelt wurde und in Kürze am Large Hadron Collider des CERN zum Einsatz kommen wird. Detaillierte Bilder dank Schweizer Algorithmus PILATUS begeistert die Synchroton-Fachwelt durch seine Fähigkeit, Millionen einzelner Röntgenstrahlphotonen präzise zu zählen. Diese spezielle Eigenschaft ermöglicht die Aufzeichnung von detaillierten Beugungsbildern der Probe, während sie im Fokus des Strahls mit dem Rasterscan-Verfahren untersucht wird. Herkömmliche Transmissions-Rasterelektronenmikroskope messen im Gegensatz dazu nur die gesamte, von der Probe absorbierte Intensität.
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